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      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥

      更新時間:2025-07-14      點(diǎn)擊次數(shù):1090

      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥

      真空鐘擺閥是一種通過圓形閥板做 “鐘擺式擺動" 實(shí)現(xiàn)真空隔離/流量控制的閥門,一般作為大口徑節(jié)流閥安裝在真空腔體和渦輪分子泵入口之間,通常應(yīng)用于FPD、SEMI、Solar和PV行業(yè)的真空鍍膜系統(tǒng)


      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥

      鐘擺閥安裝位置-真空泵與工藝腔之間


      目前的鐘擺閥設(shè)計均采用鍍鎳或硬質(zhì)陽極氧化工藝來防腐蝕和減少灰塵,考慮到擺閥尺寸巨大,閥體大多采用鋁制金屬以減少重量和制造成本,可在氣動或APC模式下運(yùn)行,其中APC鐘擺閥可以實(shí)現(xiàn)真空隔離的同時,也能實(shí)現(xiàn)中下游端的精準(zhǔn)壓力控制。


      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥
      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥

             氣動鐘擺閥                      APC壓力控制鐘擺閥

      -日揚(yáng)APC鐘擺-

      •  設(shè)計緊湊,振動小,啟閉運(yùn)動平穩(wěn)

      •  抗腐蝕,低粉塵,精準(zhǔn)的壓力控制

      •  可定制尺寸,最大可達(dá)ISO500

      •  模塊化設(shè)計,易于拆卸方便維護(hù)

      •  控制精度可達(dá)最大量程的0.1%

      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥
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      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥
      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥

      APC控制擺閥可以在真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)高效、穩(wěn)定的壓力控制,憑借其低污染、快響應(yīng)、易維護(hù)等特點(diǎn),已成為高精密真空系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。日揚(yáng)已為不同行業(yè)客戶定制研發(fā)多款A(yù)PC鐘擺閥,適配越來越復(fù)雜的真空工藝需求,成功實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)代替。


      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥
      從工作原理到場景應(yīng)用,帶你認(rèn)識APC鐘擺閥

      —APC鐘擺閥展出現(xiàn)場—





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