MKS質(zhì)量流量控制器的詳細介紹

MKS質(zhì)量流量控制器是應(yīng)用于多用途的大流量流量控制，涵蓋了從20SLM到200SLM的量程。和其他流量控制器相比，1559A*的控制閥門消除了運行中的振動和提供了更快的響應(yīng)時間。通過平衡力閥門的設(shè)計可以自動中和在控制閥門內(nèi)產(chǎn)生的管線壓力所導(dǎo)致的不平衡。  

快速的啟動，快速的響應(yīng)時間和1%的測量精度（氮氣）這些特點在減少設(shè)備的停頓時間和保證正確的氣體流量到工藝腔體內(nèi)都是很重要的。

MKS質(zhì)量流量控制器有杰出的RFI（射頻干擾）保護能力，在閥門控制信號小于全量程的0.2%時有一個噪音的安全防護，MKS同樣提供了一個可全面兼容的、獨立的電源/讀數(shù)單元，包括246C、247D和647C。 

MKS質(zhì)量流量控制器只是顯示流量的流量計，558可輸出0-5VDC的線性信號，涵蓋了和1559A相同的量程。同樣，閥門的可用型號就是154A（1559A的閥門部分）